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氬氣性質(zhì)

無(wú)色、無(wú)味、無(wú)臭、無(wú)毒的惰性氣體，化學(xué)性質(zhì)極不活潑。在21.1℃和101. 3kPa下氣體相對(duì)密度1.38。氣體密度1- 650kg.m-3  (21.1℃，101. 3kPa)，液體密度1394.Okg．m-3(一185.9℃，101. 3kPa)。沸點(diǎn)-  185.9℃。熔點(diǎn)-189.2℃。臨界溫度-122.3C，臨界壓力4. 893MPa。溶于有機(jī)溶劑。不燃燒，無(wú)毒，但人體吸入易。無(wú)腐蝕性。若遇高熱，容器內(nèi)壓增大，有開(kāi)裂和爆炸的危險(xiǎn).

氬氣制法

采用空氣分離提取氬，即將液化的空氣進(jìn)行精餾，得到粗氬，粗氬經(jīng)進(jìn)一步提純可得到高純氬。

氬氣用途

高純氬在半導(dǎo)體工業(yè)中用作生產(chǎn)高純硅和鍺晶體的保護(hù)氣體；可用作系統(tǒng)清洗、屏蔽和增壓用惰性氣體；在化學(xué)氣相沉積、濺射和退火等工藝中有所應(yīng)用。高純氬可用作色譜載氣，也可用作大規(guī)模集成電路中混合氣體的稀釋氣。氬被廣泛用于充填弧光燈、熒光燈和電子管；焊接保護(hù)氣；在鈦、鈷及其他活性金屬的生產(chǎn)中用作屏蔽氣；在黑色冶金中，氬氣用于吹煉特種鋼，以提高鋼的質(zhì)量，特別是不銹鋼制造中消耗大量氬氣。

氬氣的技術(shù)指標(biāo)
液氬/5.0N:氬氣含量99.999%,氫≤0.5ppm,氧≤1.5ppm,氮≤4ppm,一氧化碳≤0.3ppm,二氧化碳≤0.4ppm,甲烷≤0.4ppm,水分≤3ppm
純氬/4.0N:氬氣含量99.99%,氫≤5ppm,氧≤10ppm,氮≤50ppm,一氧化碳≤5ppm,二氧化碳≤10ppm,甲烷≤5ppm,水分≤15ppm
高純氬/4.0N:氬氣含量99.999%,氫≤0.5ppm,氧≤1.5ppm,氮≤4ppm,一氧化碳≤0.3ppm,二氧化碳≤0.3ppm,甲烷≤0.4ppm,水分≤3ppm
超純氬/4.0N:氬氣含量99.9999%,氫≤0.1ppm,氧≤0.2ppm,氮≤0.5ppm,一氧化碳≤0.1ppm,二氧化碳≤0.1ppm,甲烷≤0.1ppm,水分≤0.2ppm
氮?dú)獾陌b規(guī)格
50L鋼瓶:氣體壓力19.5±0.5MPa,氣體體積10000L,氣體凈重15.9kg
40L鋼瓶:氣體壓力13.5MPa,氣體體積5400L,氣體凈重8.6kg
10L鋼瓶:氣體壓力10MPa,氣體體積1000L,氣體凈重1.6kg
4L鋼瓶:氣體壓力10MPa,氣體體積400L,氣體凈重0.6kg
杜瓦罐:氣體壓力1.6~3.4MPa,氣體體積130~151Nm3,氣體凈重214~250kg
槽車(chē):氣體壓力0.8MPa,氣體凈重20噸以上
鋼瓶接口:QF-2、PX-32外螺紋/內(nèi)螺紋,螺紋出口G5/8(外徑22.911,牙數(shù)為14牙/英寸,螺距為1.814毫米,牙高1.162,小徑20.587,CGA580)